科技赋能产业,创新驱动发展。合肥华宇正式引入国际知名品牌ESI旗下9830激光修调设备,以尖端装备升级生产工艺,夯实核心竞争力,为下游客户提供更优质的测试与制造服务,助力国产半导体突围。

激光修调作为晶圆测试的关键工艺,广泛应用于芯片参数校准与性能优化,主要分为熔丝类、齐纳击穿二极管类、内嵌存储单元类三大类别。其中,内嵌存储单元类修调通过控制芯片内存储单元(如 OTP/EEPROM)的状态,实现 Trim 电阻与 MOS 开关的精准调控 ——OTP 支持一次性烧写,而 EEPROM 可多次擦写,大幅提升了修调灵活性与复用性。
本次引入的 ESI 9830 设备,凭借硬核性能为工艺升级保驾护航:
激光波长 1.347μm,最大重复频率 50,000Hz,脉冲宽度仅 9ns,保障精准高效的修调操作;
可编程光斑尺寸 1.6μm-3.5μm,分辨率 0.1μm,适配高精度芯片需求;
兼容 8 吋 / 12 吋晶圆,修边速度≤1.5 秒 / 线(8 吋),生产线处理速度达 400mm/s,单颗 12 英寸芯片总耗时仅 4-5 分钟,大幅提升生产效率。
此次设备引入,不仅强化了合肥华宇在晶圆测试领域的核心竞争力,更将助力客户实现芯片良率提升、性能优化与成本控制,为模拟电路、传感器、存储器等领域的先进产品开发提供坚实支撑。
未来,合肥华宇半导体将持续深耕半导体制造工艺,以技术创新驱动产业发展,为国产半导体自主可控贡献力量!





